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第123回 ICチップと写真の深い関係? 〜回路を「焼き付ける」フォトリソグラフィ技術〜

 コンピュータや電化製品の部品に欠かせないのが、「集積回路」とよばれるICチップ。とても小さな面積に、複雑な電子回路を作り上げるためには、さまざまな技術が使われています。今回のテクの雑学では、ICの複雑な設計図を正確に写し撮るための、「フォトリソグラフィ」を紹介しましょう。

ICチップは電子回路
 ICチップとはそもそも何でしょうか。その働きは、コンデンサや抵抗などの部品を線でつなぐ、電子回路と同じものですが、一辺数ミリ以下、ものによっては1ミリ未満の微小な面積のシリコン板の上に、多数の部品が詰め込まれ、複雑に配線されています。

 そのような小さな部品を作るのも大変ですが、部品を人の手で並べて線をつなぐことは不可能です。実際には、ICチップの設計図である回路図を、そのままシリコン板の上に転写し、回路図の配置通りに半導体を直接生成するという製造方法がとられています。回路図をICチップに転写するための技術が「フォトリソグラフィ」です。


「部品を並べるのが難しければ、その位置に部品を作ってしまえばいいじゃない」という、まさにコロンブスの卵の発想ですね。
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